四重極質量分析計のよくある質問(FAQ)

1.Quadstarソフトウェア全般(旧型)

2.Prisma QMS200 電子ユニット全般(旧型)

3.Omnistar GSD301・Thermostar 301全般(旧型)

4.QMG422全般

5.QMA型分析管全般

1.Quadstarソフトウェア全般(旧型)

Q.フィラメントの点灯時にEmissionエラーが発生します。
A.フィラメント周辺の汚れで電子が放出されづらくなっています。
Emission Currentを0.1mAまで下げて再度フィラメントを点灯させてください。
点灯した場合は徐々に元の電流設定値に戻してください。

Q.Emissionエラーが連続的に発生します。
A.イオンソースが汚れて絶縁不良が発生しています。
分析管のオーバーホールが必要です。

Q.Filament Defectエラーが発生します。
A.フィラメントが切れている可能性があります。
予備のフィラメントが実装されているタイプのイオンソースの場合はフィラメントを切り換えてみてください。
交換用のフィラメントがご必要の際はご連絡下さい。
(長期の使用でフィラメントが切れた場合は、イオンソース自体が汚れている場合が多く、
フィラメントを交換しても性能が出ない場合があります。)

Q.前バージョンのQuadstar(6.0X)はWindows2000、XPで動作しますか?
A.基本的に動作はしますが、不安定になる場合があります。またファイル名等に制限があります。
バージョンアップ(有償)は随時承っております。

Q.時刻の表示がおかしいのですが。
A.Windowsのロケール設定を英語表記に変更してください。

Windows2000
スタート→設定→コントロールパネル→地域のオプション
→現在のユーザー設定→英語(U.S.)
WindowsXP
スタート→設定→コントロールパネル→地域と言語のオプション
→標準と形式→英語(米国)

2.Prisma QMS200 電子ユニット全般(旧型)

Q.ユニット後部のフィルターが汚れてきました。
A.ユニットの電源を切り、小型の掃除機等で埃を吸い取ってください。
埃が詰まっているとユニットの内部温度が上昇し、深刻なダメージを与える可能性があります。
フィルターの清掃は定期的に行ってください。

Q.異音が聞こえます。
A.長期にご使用の場合は内蔵FANの寿命です。FAN交換修理の必要があります。

Q取付時の注意点は?
A.取り付けるときは分析管のガイド溝と電子ユニットの設置用タブを正確に合わせてから挿入してください。無理に挿入すると双方をを破損する場合があります。

Q.コンピューターにシリアル(RS232C)端子がありません。
A.市販のUSBシリアル変換器で動作可能です。(全ての製品での動作を保証する物ではありません。)

3.Omnistar GSD301・Thermostar GSD301全般(旧型)

Q.Powerランプが赤く点灯(もしくは点滅)して停止してしまいます。
A.冷却ファンのフィルターが目詰まりして内部温度が上昇し、安全装置が働いた可能性があります。
定期的に内部のフィルター(2カ所、Prisma1カ所)を清掃してください。
埃が詰まっているとユニットの内部温度が上昇し、深刻なダメージを与える可能性があります。

Q.測定時のチャンバー内部の適正な真空度は?
A.-4Pa台が正常です。-5Pa台以下の場合はキャピラリーもしくはオリフィスが詰まっています。
キャピラリーとオリフィスはユーザーによる交換が可能です。

Q.オーバーホールの頻度は?
A.メーカーでは2年毎のオーバーホールを推薦しています。(メンテナンス間隔一覧参照)
メンブレンポンプのオーバーホール間隔 GSD301型5,000時間毎、GSD300型10,000時間毎
ターボ分子ポンプのオーバーホール間隔 2年毎推薦(オイルカートリッジ交換は1年毎推薦。ユーザーによる交換可能)

Q.ターボ分子ポンプのオイルを交換したいのですが。
A.オイルカートリッジは少なくとも1年毎に交換してください。オイルカートリッジと専用治具は別途ご用命下さい。

4.QMG422全般(旧型)

Q.RFエラーが発生します。
A.RFユニット(QMH型)が使用可能になるまで10分程度の時間がかかります。

Q.コントローラーと分析管を離したいのですが
A.オプションで最長10mのケーブルがあります。(QMA400)

5.QMA型分析管全般

Q.動作圧力は?
A.ファラデーカップ型検出器を使用の際は-3Pa台以下。
SEM(2次電子増倍管)型検出器を使用する場合は-4Pa台以下で使用してください。
-3Pa台で使用する際は一部のイオンソースではエミッション電流の設定を下げる必要があります。
不適切な圧力での使用はフィラメントや二次電子増倍管に損傷を与える恐れがあります。
(マニュアル参照)

Q検出器の電圧の設定は?
A.チャンネルトロン型二次電子増倍管の場合、900V〜2500V(Max)
SEV型二次電子増倍管の場合は、1000V〜3500V(Max)
イオン電流の最大値が1E-6A以下(-7A台)になる程度に調節をします。
不適切な電圧の印加は二次電子増倍管の寿命を縮める恐れがあります。
ファラデーカップ型検出機の場合は印加電圧は必要ありません。

Q.感度が低下してきました。
A.フィラメントユニットの交換もしくはイオンソースのクリーニングが必要です。
検出器の劣化の可能性もありますので一度ご相談下さい。

Q.分解能が低下してきました
A.Resolution設定で当初の分解能が得られなくなった場合、四重極ユニットが汚れている可能性があります。
その際は分析管のオーバーホールが必要です。

Q.安定した測定に重要なことは?
A.フィラメントを点灯したら少なくとも2時間は測定を控えてください。
フィラメントやイオンソース周辺部が過熱することにより測定値が変化します。また真空を解除した際には真空引き後に一度ベーキングをすることをお勧めしています。

Q.ベーキングの温度は?
注意)必ず各分析管のマニュアルをご参照下さい。
A.一般的に測定時の動作可能温度は
チャンネルトロン型二次電子増倍管の場合、70℃
SEV型二次電子増倍管の場合は、125度C(Max.1000V)
電子部の温度は50℃を超えないようにしてください。

電子部やコネクターを取り外した場合
ファラデー型、チャンネルトロン型二次電子増倍管の場合、200℃(300℃バージョン有り)
SEV型二次電子増倍管の場合、400℃(マグネット付きの場合300℃)

Q.フィラメントの種類と特性は?
A.以下の3種類のフィラメントがあります。(全てのイオンソースに対応する物ではありません。)

・タングステンフィラメント
レニウムフィラメントに比べて長寿命で、蒸気圧が低いので超高真空下での使用に適しています。

・イットリアコートイリジウムフィラメント
フィラメントの寿命が長く、他に比べ切れにくい特性があります。
動作温度が非常に低いために残留ガスの分析に適しています。
また温度に敏感な物質(たとえば有機金属化合物)の分析、
あるいは大量の酸素を含む混合ガスの不純物の分析に適しています。
酸素が多少発生する場合があります。

・レニウムフィラメント
他に比べ安価で、タングステンフィラメントに比べて炭素の発生が抑えられます。
タングステンフィラメントに比べて約50倍の蒸気圧があります。


Q.イオンソースの種類と特徴は
A.主にの5種類のイオンソースに分類されます。(括弧内は対応する分析管の形式)
詳細はホームページのイオンソースの項をご参照下さい。

・アキシャルイオンソース(QMA125,QMA400)
電子ビームおよびイオン引き込み方向がと同軸方向であり、最適な条件で下流側四重極分離場に大量のイオンが引き込めるため、高感度です。
コンパクト設計で残留ガスの分析に適しています。フィラメントはレニウムまたはタングステン製です。
(ガスタイト型もあります。)

・グリッドイオンソース(QMA125,QMA400)
特別に選び抜かれた材質とオープン構造により、極めて小さいガス放出量を実現したイオンソースです。

・クロスビームイオンソース(QMA200,QMA400,QMA125)
オープン構造でほとんどイオン化室の壁との衝突作用がないため指向性粒子線測定を可能にします。
一般的な残留ガスの分析、腐食性あるいは凝結性の混合ガスの分析、分子ビームの測定、同位体分析といった分野に使用できます。
(ガスタイト型もあります。)

・オープンイオンソース(QMA200)
コンパクトなタイプのイオンソースで残留ガス分析に適します。
(主にOmnistar、Thermostarに使用されるガスタイト型もあります。)

・SPMイオンソース(QMA200,QMA125,QMA400)
スパッタープロセスモニター専用のイオンソースです。
イオン化室とプロセスチャンバー間のコンダクタンスが大きく、1Paまでの測定に対応します。

Q.オーバーホールの頻度は?
A.分析管等のオーバーホールの頻度は使用条件により大きく変わりますので弊社にご相談下さい。(メンテナンス間隔一覧参照)

質量分析TOPイオンソース

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