四重極質量分析計のよくある質問(FAQ)

(簡易マニュアル、最新ソフトを配布しています。ページ末尾のお問合せボタンよりご依頼ください。)


1.Quadera®ソフトウェア全般

2.PrismaPlus QMG220 ハードウェア全般

3.Omnistar GSD320(O)・Thermostar 320(T)全般

4.HiQuad QMG700全般

5.QMA型分析管全般

1.Quadera®ソフトウェア全般

Q.フィラメントの点灯時にEmissionエラーが発生します。

A.フィラメント自体やイオン化室周辺の汚れが原因で、電子が放出されにくくなっています。
Emission Currentを0.1mA以下に下げて再度フィラメントを点灯させてください。
点灯した場合は徐々に元の電流設定値に戻してください。
上記操作を行っても点灯しない場合、フィラメントの交換もしくはイオンソースの交換が必要です。

Q.Ion Sourceエラーが連続的に発生します。

A.イオンソースが汚れて絶縁不良が発生しています。
分析管のオーバーホールが必要です。

Q.Filament Defectエラーが発生します。

A.フィラメントが切れている可能性があります。
予備のフィラメントが実装されているタイプのイオンソースの場合は、フィラメントを切り換えてみてください。
交換用のフィラメントがご必要の際はご連絡下さい。
(ただし、長期の使用でフィラメントが切れた場合は、イオンソース自体が汚れている場合が多く、フィラメントを交換しても性能が出ない場合があります。)

Q.Quaderaに対応しているOSは?

A.Windows7 Professional (32,64-bit)、およびWindows8.1(32,64-bit)に正式対応しています。また、Windows10(32,64-bit)についても動作しております。
Quaderaの最新版は4.62(無償)となります。
Help⇒AboutからEnabled Optionsの内容をご準備いただき、ページ末尾の[お問合せ]ボタンよりご要請ください。

Q.コントローラーがDevice Searchで表示されません。

A.ファイヤーウォールソフトが接続をブロックしている可能性があります。
ファイアウォールを無効にするか、通信に必要なポートを解放してください。
(詳細はQuaderaのReadmeを参照してください。)

Q.Quaderaがコントローラーに接続できません。

A.コントローラー側とPC側、双方の設定を合わせてください。
コントローラ側のIPアドレス、ネットマスク、DHCP設定はDevice Setupウインドウで確認出来ます。双方共にDHCP機能がONで、クロスケーブルによる直接接続等でDHCPサーバーが存在しない場合、APIPA(AutoIP)機能によ169.254.1.0 から 169.254.254.255 までのアドレスがランダムに割り当てられます。WindowsのIPv6機能はOFFを推薦いたします。

Q.無線LANもしくは、増設USB LANとの共存は可能ですか?


A.長時間動作で接続が切れることがあります(Windows7で報告有)。
出来る限りLAN接続は一本化してください。

Q.波形、感度が良くないのでイオンソースパラメーターを調整したい。

A.調整用マニュアルを用意しております。ページ末尾の[お問合せ]ボタンよりご要請ください。

Q.ExportしたファイルをExcelで開きたい。(Windows10+Excel2013)。

A.Excelで読み込む場合、"Export Option"の"Date Format"の設定を、"Local Default"にしてから出力して下さい。日本語環境下での文字化け・行ズレを抑制します。また、Export As MID Dataにチェックを入れてからエクスポートした方が、Excelで使いやすい場合があります。(チェックできないフォーマットもあります。)

拡張子ascのファイルをExcelの既定ファイルに設定してください。
Excelの実行ファイル(Excel2013-32bit版)は通常以下のフォルダーにあります。
C:\Program Files (x86)\Microsoft Office\Office15

2.PrismaPlus QMG220 ハードウェア全般

Q.電源スイッチはどこですか?

A.電源スイッチはありません。ACコードの抜き差し、もしくは電源スイッチ付きACコードにてご対応ください。DCプラグ側での抜き差しは非推薦となります。

Q.分析管挿入時の注意点は?

A.分析管を挿入するときは、真空チャンバー自体や内部の部品類に接触しないように、慎重に行ってください。付属の短管を外した場合、保護ピンがフランジ等に当たる場合があります。保護ピンの交換はご自身の責において行ってください。詳細はトップページの[お問合せ]ボタンよりお問い合わせください。

Q.コントローラー取付時の注意点は?

A.コントローラーを取り付けるときは、分析管のガイド溝と電子ユニットの設置用タブを正確に合わせてから挿入してください。無理に挿入すると双方をを破損する場合があります。

Q.ユニット後部のフィルターが汚れてきました。

A.ユニットの電源を切り、小型の掃除機等で埃を吸い取ってください。
埃が詰まっているとユニットの内部温度が上昇し、深刻なダメージを与える可能性があります。
フィルターの清掃・交換は定期的に行ってください。

Q.異音が聞こえます。

A.長期にご使用の場合は内蔵FANの寿命です。FAN交換修理の必要があります。

Q.USB接続は出来ますか?

A.コントローラー背面のUSB端子は保守用です。ご使用になれませんのでご注意ください。

3.Omnistar GSD320(O)・Thermostar 320(T)全般

Q.測定時のチャンバー内部の適正な真空度は?

A.-4Pa台が正常です。-5Pa台以下の場合はキャピラリーもしくはオリフィスが詰まっています。
キャピラリーとオリフィスはユーザーによる交換が可能です。

Q.前面パネル上の真空度が異常に低く(Under Range等)表示されます。

A.真空計のオーバーホールが必要です。

Q.前面パネルにフィルター清掃の指示が表示されます。

A.装置を停止させ、フィルター(装置側面2カ所、内蔵PrismaPlus1カ所)をマニュアルを参照して清掃してください。フィルター清掃後リセット操作が必要です。
埃が詰まっているとユニットの内部温度が上昇し、装置にダメージを与える可能性があります。

Q.オーバーホールの頻度は?

A.使用頻度・導入ガス種に依存しますが、2年〜4年間隔でのオーバーホールを推薦しています。
メンブレンポンプのオーバーホール間隔:8,600時間未満推薦
ターボ分子ポンプのオーバーホール間隔:4年毎推薦

Q.ターボ分子ポンプのオイルリザーバー(カートリッジ)を交換したい。

A.オイルリザーバーは少なくとも4年毎に交換してください。オイルカートリッジと専用治具は別途ご用命下さい。

4.HiQuad QMG700全般

Q.RFエラーが発生します。

A.RFユニット(QMH型)が使用可能になるまで10分程度の時間がかかります。

Q.コントローラーと分析管を離して設置たいのですが。

A.オプションで最長10mのケーブルがあります。(QMA400)

5.QMA型分析管全般

Q.動作圧力は?

A.ファラデーカップ型検出器を使用の際は-3Pa台以下。
SEM(2次電子増倍管)型検出器を使用する場合は-4Pa台以下で使用してください。

-3Pa台で使用する際は、一部のイオンソースではエミッション電流の設定を下げる必要があります。
不適切な圧力での使用はフィラメントや二次電子増倍管に損傷を与える恐れがあります。
(マニュアル参照)

Q.検出器の電圧の設定は?

A.チャンネルトロン型二次電子増倍管の場合、900V〜2500V(Max)
SEV型二次電子増倍管の場合は、1000V〜3500V(Max)
イオン電流の最大値が1E-6A以下(-7A台)になる程度に調節をします。
不適切な電圧の印加は二次電子増倍管の寿命を縮める恐れがあります。

ファラデーカップ型検出機の場合、電圧印加は必要ありません。

Q.感度が低下してきました。

A.フィラメントユニットの交換もしくはイオンソースのクリーニングが必要です。
検出器の劣化の可能性もありますので一度ご相談下さい。

Q.分解能が低下してきました

A.Resolution設定で当初の分解能が得られなくなった場合、四重極ユニットが汚れている可能性があります。
その際は分析管のオーバーホールが必要です。

Q.安定した測定に重要なことは?

A.フィラメントを点灯した後は、少なくとも2時間は測定を控えてください。
フィラメントやイオンソース周辺部が過熱することにより測定値が変化します。また真空を解除した際は、真空引き後に一度ベーキングをすることをお勧めしています。

Q.ベーキングの温度は?
注意)必ず各分析管のマニュアルをご参照下さい。

A.測定時の動作可能温度は?
QMA200型分析管の場合、120℃
QMA400型分析管の場合、150℃、180℃(SEM電圧 Max.1000V)
電子部の温度は50℃を超えないようにしてください。

電子部やコネクターを取り外した場合。
QMA200型分析管の場合、200℃(300℃バージョン有り)
QMA400型分析管の場合、400℃(電子収束マグネット付きの場合300℃)

Q.フィラメントの種類と特性は?

A.以下の3種類のフィラメントがあります。(全てのイオンソースに対応する物ではありません。)

・タングステンフィラメント
レニウムフィラメントに比べて長寿命で、蒸気圧が低いので超高真空下での使用に適しています。

(酸素分圧の高い環境下での寿命は短くなります。)

・イットリアコートイリジウムフィラメント
フィラメントの寿命が長く、他に比べ切れにくい特性があります。
動作温度が非常に低いために残留ガスの分析に適しており、温度に敏感な物質(たとえば有機金属化合物)の分析、あるいは大量の酸素を含む混合ガスの不純物の分析に適しています。

(酸素が多少発生する場合があります。また水素分圧の高い環境下での寿命は短くなります。)

・レニウムフィラメント
他に比べ安価で、タングステンフィラメントに比べて炭素の発生が抑えられます。

(タングステンフィラメントに比べて約50倍の蒸気圧があります。)


Q.イオンソースの種類と特徴は

A.主にの5種類のイオンソースに分類されます。(括弧内は対応する分析管の形式)
詳細はホームページのイオンソースの項をご参照下さい。

・アキシャルイオンソース(QMA400,QMA125)
電子ビームおよびイオン引き込み方向がと同軸方向であり、最適な条件で下流側四重極分離場に大量のイオンが引き込めるため、高感度です。
コンパクト設計で残留ガスの分析に適しています。フィラメントはレニウムまたはタングステン製です。
(ガスタイト型もあります。)

・グリッドイオンソース(QMA200,QMA400,QMA125)
特別に選び抜かれた材質とオープン構造により、極めて小さいガス放出量を実現したイオンソースです。

・クロスビームイオンソース(QMA200,QMA400,QMA125)
オープン構造でほとんどイオン化室の壁との衝突作用がないため指向性粒子線測定を可能にします。
一般的な残留ガスの分析、腐食性あるいは凝結性の混合ガスの分析、分子ビームの測定、同位体分析といった分野に使用できます。
(ガスタイト型もあります。)

・オープンイオンソース(QMA200)
コンパクトなタイプのイオンソースで残留ガス分析に適します。
(主にOmnistar、Thermostarに使用されるガスタイト型もあります。)

・SPMイオンソース(QMA200,QMA400)
スパッタープロセスモニター専用のイオンソースです。
イオン化室とプロセスチャンバー間のコンダクタンスが大きく、標準で1Paまでの測定に対応します。


Q.オーバーホールの頻度は?

A.分析管等のオーバーホールの頻度は使用条件により大きく変わりますので弊社にご相談下さい。(メンテナンス間隔一覧参照)

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