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Prismaイオンソース

図7に示したのは、PrismaTMファミリーのオープン構造のイオンソースとガスタイト式イオンソースです。 どちらのバージョンもダブルフィラメント方式で、2つのフィラメントを切り替えて使用できます。 オープン構造のバージョンでは、フィラメントの材質としてタングステン、または酸化イットリウムでコーティングされたイリジウムが使用されます。 電極の種類や電位印加特性は、クロスビームイオンソースのそれによく似ています。

ガスタイト式のPrismaTMイオンソースに関しては、フィールドアクシス方向、すなわちイオン引き込み方向にしかガスを導入できないことに注意する必要があります。 コンダクタンス値は、窒素で約1l/sです。

図7 Prisma用イオンソース(左:オープン型、右:ガスタイト型)

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