Model 5S-MR10 RBS Analyzer
5S-MR10 仕様
最大加速電圧
1.7 MV
リップル
<= 250 V rms
エネルギー範囲
+1 イオン
0.6 - 3.4 MeV
+2 イオン
5.1 MeV
一荷イオン電流目標値
3 μA
ビーム電流
H
100 nA @ 0.3 MV
H
200 nA @ 1.7 MV
He
200 nA @ 0.3 MV
He
500 nA @ 1.7 MV
構成
イオン源
アルファトロス
加速器
5SDH ペレトロン
分析収束電磁石
ダブレットレンズ
振分電磁石
真空系
ターボ分子ポンプ
制御システム
AcceleNET
分析系
RC43エンドステーション
RUMPソフトウェア
オプション
PIXE検出器 (GUPIX)
NRA検出器
寸法・重量
加速器
長さ
3.26 m
直径
0.76 m
容積
1.35 m3
最大運転圧力
7.05 kg/cm2
概算重量
480 kg
総合重量
2,720 kg
SF6絶縁ガス
重量
80 kg
イオン源インジェクター
長さ
1.75 m
重量
320 kg
分析・収束電磁石
長さ
1.82 m
重量
370 kg
RBSエンドステーション
長さ
1.52 m
重量
230 kg
加速器システム全体
長さ
9.1 m
必要設備
電源
120/208 VAC, 三相四線
スター結線、中点接地
12 kVA
冷却水
15°C, 10 l/m
最大圧力
5.6 kg/cm2
圧力降下
4 kg/cm2
温度上昇
10°C
圧搾空気
6.0 kg/cm2
アルゴンガス
0.35 kg/cm2