RBS Analyzer
ラザーフォード後方散乱 (RBS)
RUTHERFORD BACKSCATTERING

構成元素分析と薄膜厚さ測定

感度:10 ppm (重元素)、数 % (軽元素)

化学的元素比絶対測定
深さ方向プロファイル、3μまで
標準試料不要

チャンネリング
Channeling

結晶性のある試料の場合、結晶軸に沿ってビームを入射
結晶構造
結晶軸方向
純度と欠陥の分析
不純物の位置 情報

反跳原子分析 (ERDA)
Elastic Recoil Detection Analysis
表面近傍の軽元素の量と深さ方向分布
Heイオンビームを用い、表面近傍の1Hと2Hの分析
粒子励起X線分析 (PIXE)
Particle Induced X-ray Emission
低バックグラウンド
高感度: 0.1〜10 μg/g
理想的なトレーサー元素分析手法
μPIXE、μRBS
マイクロビームを用いて高い空間分解能でPIXE/RBS分析が可能