高性能SIMS型四重極質量分析計
エンドポイントモニター EPD700
PFEIFFER_VACUUM

Options

偏向型球面デフレクター
イオンビームの入射角に対して30°〜90°で取り付けることが可能です。
90度デフレクター

その他のオプション
分析管の磁気シールド、最大2048amuまでの測定質量数、分析管と差動排気用ターボポンプ間のプロテクションバルブが供給可能です。


仕様
アプリケーション
オプション
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