高性能SIMS型四重極質量分析計
エンドポイントモニター EPD700
PFEIFFER_VACUUM

Specification

測定エネルギー範囲 ±150eV(最大±350eV オプション)
測定質量範囲 M/e=1〜512
最大測定プロセス圧力 1Pa
イオンエネルギー分解能 <2eV(半値幅)
イオン量検出範囲(イオンカウンティング) 0.1〜5x106cps
検出器 ファラデーカップ+二次電子増倍管(イオンカウンター・電流アンプ)
プラズマ装置内挿入長 324mm
分析管の最大加熱温度 動作中:150℃、エレクトロニクスを外した状態:400℃
測定スピード アナログスキャン:5msec〜60sec/amu
バーグラフスキャン:0.125msec 〜60sec/amu
トレンド(MID):0.125msec 〜 60sec/ch
測定チャンネル 128チャンネル
通信インターフェイス LAN TCP/IP DHCP・固定アドレス(Ethernet)
取り付けフランジ DN63CF-F(ICF114)
概略寸法 分析管:700(H) x 500(D) x 250(W) mm
電源電圧 115VACまたは230VAC(50/60Hz)、消費電力:1.5kVA
分析管重量 26kg(ターボ分子ポンプを含む)


仕様
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