ガス分析システム
ベンチトップガスモニター OmniStar/ThermoStar GSD320
PFEIFFER_VACUUM

Specification

測定質量数 1〜100、200、300amu
公称検出限界 <1ppm
フィラメント材質 タングステンまたはイットリアコートイリジウムから選択可能
検出器 ファラデーカップ+チャンネルトロン増倍管(切替)
ガス導入部 OmniStar:ステンレスキャピラリー+シャットオフバルブ
ThermoStar:シリカキャピラリー
キャピラリー寸法 ステンレスキャピラリー:OD=1/16インチ、ID=0.12mm
シリカキャピラリー:OD=0.23mm、ID=0.15mm
キャピラリー長さ 1mまたは2mより選択可能
減圧方式 キャピラリーおよびオリフィスによる2段減圧
ガス導入量 1〜2sccm
ガス導入圧力 500〜1500hPa
ガス導入部最大加熱温度 200℃ (350℃オプション)
排気部 クイックカップル(OD=6mm、ID=4mm)、デフォルトでサイレンサー付き
測定スピード アナログスキャン:200msec〜60sec/amu
バーグラフスキャン:2msec〜60sec/amu
トレンド(MID/MCD測定):2msec〜60sec/ch
測定チャンネル 128チャンネル
通信インターフェイス LAN TCP/IP 固定アドレス (Ethernet)
接続 OmniStar:1/16インチSwagelokコネクタ
ThermoStar:グラファイトフェルール等
概略寸法 W305 x D545 x H395 mm (キャピラリーヒーター他突起部除く)
アナログ信号入力 5チャンネル:0〜±10VDC(12bit)
アナログ信号出力 4チャンネル:0〜+ 10VDC(12bit)
デジタル信号入力 4チャンネル
デジタル信号出力 7チャンネル
動作環境温度 12〜35℃
保存環境温度 5〜45℃
許容相対湿度 31℃までは<80%、40℃では<50%
電源電圧 90〜127VAC(620W)、187〜253VAC(590W)  50〜60Hz
重量 35kg

※残留成分により制限される場合があります。

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