多目的ガス分析装置
高圧力プロセスアナライザー HPA220
PFEIFFER_VACUUM

Specification

測定質量数 M/z=1〜100、1〜200、1〜300
最大測定プロセス圧力 HPI040バルブ使用時:800Pa(N2)
Double Gate バルブ使用時:50Pa
UDV040バリアブルリークバルブ使用時:5,000Pa
検出限界
(測定チャンバー圧力)
ファラデーカップ:1 x 10-9 Pa
チャンネルトロン増倍管:1 x 10-12Pa
感度
(測定チャンバー圧力)
ファラデーカップ:3 x 10-6 A/Pa
チャンネルトロン増倍管:2A/Pa
オリフィス径 0.03/0.1/0.3mm 等選択可能
通信インターフェイス LAN TCP/IP DHCP/固定アドレス (Ethernet)
取り付けフランジ HPI040バルブ使用時:DN40CF-F(ICF70)
Double Gate バルブ使用時:DN40CF-F(ICF70)
UDV040バリアブルリークバルブ使用時:VCR 1/4"
概略寸法 D390 x W160 x H350mm (突起部を除く本体部分、最小構成時)
バルブ類、ラック用コントローラーは含まれません。
アナログ入力 5チャンネル 0〜±10VDC
アナログ出力 4チャンネル 0〜+10VDC
デジタル入力 4チャンネル(最大) 24VDC
デジタル出力 13チャンネル 24VDC
外部トリガー入力 1チャンネル 24VDC (インターロック用)
バルブ開閉用空気圧 5 ~ 7atm
電源電圧 単相100V/200V、50/60Hz
重量 11.8kg(差動排気用ターボポンプを含める。バルブ類、ラック用コントローラーは除く。)

仕様
オプション
戻る