高感度残留ガス分析計
四重極質量分析装置 PrismaPlus® QMG220
PFEIFFER_VACUUM

Options

■イオンソース
   高品質な4種類のイオンソースから、アプリケーションに合わせて最適な選択が可能です。

オープンイオンソース ■オープン(標準)型イオンソース
  • オープン型
  • ガス組成変化へ即応
  • 高感度および長寿命
  • フィラメント部(イオンフォーメーションチャンバー一体)の交換が容易
  • 2本のフィラメントを装備し、ソフトウェアから切替可能
用途
      残留ガス分析、定量および定性分析

ガスタイトイオンソース ■ガスタイト型イオンソース
  • 減圧導入系を通して直接導入された少量混合ガス組成分析
    (イオン化室外の残留ガスの影響を低減)
  • 高速レスポンス
  • N2でのコンダクタンス:0.8 l/sec
  • 測定ガスが直接フィラメントに接触しない構造のため、
    フィラメントの耐久性向上
  • 2セットのフィラメントを装備し、ソフトウェアから切替可能
■用途
      大気圧ガス導入分析(定量および定性分析)、呼気分析

クロスビームイオンソース ■クロスビーム型イオンソース
  • 表面積の小さいオープン構造
  • 短い温度平衡到達時間
  • フィラメントによりイオン化室を加熱する対汚染構造
  • 高真空側での優れたリニアリティー
  • 水平、垂直の2方向からの分子線に対応
  • 2セットのフィラメントを装備し、ソフトウェアから切替可能
■用途
      粒子線・分子線分析、脱離ガス分析(昇温脱離等)

グリッドイオンソース ■グリッド型イオンソース(超高真空向け)
  • 表面積が小さく、超低放出ガス量
  • 脱ガスが容易
  • 特に厳選した材料を使用
  • 2セットのフィラメントを装備し、ソフトウェアから切替可能
■用途
      超高真空、または極高真空での残留ガスおよび放出ガス分析

■拡張I/O ポート
   本体背面に拡張I/Oポートを取り付けることにより、豊富な外部入出力及びファイファーバキューム社製の真空計の一部を取付可能。
   外部機器の制御用、専用ソフトウェアにデータを直接取り込むことが可能です。

クロスビームイオンソース

拡張I/Oポート I/O220

  • 4アナログアウトプット 12bit 0〜+10V
  • 5アナログインプット 14bit -10〜+10V
  • 16デジタルアウトプット (Relay)
  • 4デジタルインプット (TTL)
  • 1真空計ポート(PV社真空計 PKR360シリーズ他)

 

90度偏向コントローラ
   設置スペースを削減するために、分析管の取り付け方法に対して90度偏向したコントローラが選択できます。

■300℃までの許容ベーキング温度
   最大300℃までベーキングできる分析管が選択できます。
    (150℃以上でベーキングの際は、コントローラを外す必要があります。)

■電子エネルギー可変型イオンソース
   フラグメントを抑制するために、最少10eVまで電子エネルギーを設定可能なオープン型イオンソースが選択できます。
電子エネルギー可変

■腐食ガス用電圧供給ワイヤー
   MBE等での腐食ガス雰囲気測定用として、分析管ワイヤーにモリブデン製が選択できます。

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仕様
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