高感度残留ガス分析計
四重極質量分析装置 PrismaPlus® QMG220
PFEIFFER_VACUUM

Specification

測定質量数 M/e=1〜100,200,300
最大測定圧力 ファラデーカップ使用時:1 X 10-2Pa
チャンネルトロン増倍管使用時:1 X 10-3Pa
最小検出分圧
(オープンイオンソース、1-100amu型)
ファラデーカップ専用機:1 X 10-10Pa※1
チャンネルトロン増倍管:1 X 10-12Pa※1
感度(Ar)
(オープンイオンソース,1-100amu型)
ファラデーカップ専用機:1 X 10-5A/Pa※1
チャンネルトロン増倍管:2A/Pa※1
検出器 ファラデーカップ専用機
ファラデーカップ/チャンネルトロン増倍管(切替型)
隣接ピーク寄与率(40/41amu)
(1-100amu型)
<10ppm
分解能調整範囲 0.5〜2.5amu(ピーク強度の10%の高さでの値)
コントロールユニット動作温度範囲 0〜40℃
分析管の最大加熱温度 動作中:150℃
コントロールユニットを外した状態:200℃ (オプションで300℃タイプ有.)
保存環境温度 -25〜+70℃
測定スピード アナログスキャン:20msec/amu〜60sec/amu
バーグラフスキャン:2msec/amu〜60sec/amu
トレンド(MID・MCD)測定:2msec/ch〜60sec/ch
測定チャンネル 128チャンネル
通信インターフェイス AN TCP/IP DHCP/固定アドレス (Ethernet)
取り付けフランジ DN40CF-F(ICF70)
アナログ入力(IO220、オプション) 5チャンネル 0〜±10VDC(14bit)
アナログ出力(IO220、オプション) 4チャンネル 0〜+10VDC(12bit)
デジタル入力(IO220、オプション) 4チャンネル  24VDC
デジタル出力(IO220、オプション) 16チャンネル  24VDC
外部トリガー入力 1チャンネル 24VDC (インターロック用)
電源電圧 90〜264VAC(47〜63Hz)
重量 3〜4.4kg(オプションに依存)

※1:最大測定質量数(1-100型,1-200型,1-300型)によって異なります。

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