高性能四重極質量分析計
ハイエンド型四重極質量分析計 QMG700
PFEIFFER_VACUUM

Options

■イオンソース
a.アキシャルイオンソース

アキシャルイオンソース

マスフィルター方向へのガスがイオン化される設計のため高感度です。
フィラメント材質はレニウム、タングステンおよびイットリアコートイリジウムより選択できます。
シンプルな構造でクリーニングが容易。一般的なガス分析、残留ガス分向きです。

b.ガスタイトアキシャルイオンソース

ガスタイトアキシャルイオンソース

イオンソース内部の体積が小さく高感度です。
主に呼気ガス分析向きです。

c.クロスビームイオンソース

クロスビームイオンソース

オープン型でイオン化室壁面が薄いため、すばやく温度が平衡になります。
2式のフィラメントが付いており、タングステンまたはイットリアコートイリジウムより選択できます。
発生ガスや粒子線分析の場合、ガスがイオン化室に当らずに通過中にイオン化できるため、腐食ガスを含めた定量分析に向いています。

d.マグネット付きクロスビームイオンソース

マグネット付きクロスビームイオンソース

マグネットはイオン化室内での電子密度を増加させ、
さらに電子のイオン化壁面への衝突を防止します。
そのため効率良く大量のイオンが生成されるため高感度な測定が可能です。
しかし圧力に対する測定信号のリニアリティーは悪くなります。
主に高質量有機物、分子線および同位体等高分解能測定に向いています。

e.ガスタイトクロスビームイオンソース

ガスタイトクロスビームイオンソース

横から導入される型

ガスタイトクロスビームイオンソース

マスフィールター軸に平行に導入される型

区切られたイオン化室内の体積が小さいため、
主にガス純度測定に向いています。

f.グリッドイオンソース

グリッドイオンソース

表面積が小さく放出ガス量が非常に小さい。
脱ガスが容易。
2式のタングステンフィラメントを付属。
超高真空または極高真空での残留ガスおよび放出ガス分析に向いています。

g.オフアクシスイオンオプティクス(2018年1月受注終了)

オフアクシスイオンオプティクス

高速イオンを遮断するオフアクシス構造
外部で生成された正負イオン分析用イオンオプティクスです。
SIMS等に向いています。

h.2段レンズイオンオプティクス付きクロスビームイオンソース(2018年1月受注終了)

2段レンズイオンオプティクス

プラズマプロセス中の正負イオンおよびラジカル分析用です。

i.3段レンズイオンオプティクス(2018年1月受注終了)

3段レンズイオンオプティクス

SIMS型エネルギーアナライザー
半値幅<2eVでイオンエネルギー分析ができます。
高速イオン、中性粒子および光子を遮断するビームストッパーが付いています。
プラズマ分析、SIMS、光イオン化、電子誘発脱離イオン等の分析に向いています。

■フィラメント

材質

点灯時の温度

許容ガス 備考
イットリアコートイリジウム 1300℃ 不活性ガス、
Air、O2、NOx、SOx
ハロゲンガスでは短寿命。
H2Oのバックグラウンドが高い場合は
CO/CO2,O2を生成。
タングステン 1800℃ 不活性ガス、
ハロゲンガス、
H2、フロンガス
酸化生成物では短寿命。
バックグラウンド成分であるH2OおよびO2より大量のCO/CO2が生成。
WOxは揮発性のため蒸発。
レニウム 1800℃ 不活性ガス、
ハロゲンガス、CxHy、
フロンガス
蒸発により数ヶ月程度の短寿命。
CxHy測定時にバックグラウンド成分であるH2OおよびO2からある程度のCO/CO2を生成。

■RFジェネレーター

測定質量数または分解能により選択されます。

ユニットレゾリューション型

QMH400-5:1-300amuまたは1-512amu
QMH410-1:1-1024amu(2018年1月受注終了)
QMH410-2:1-2048amu(2018年1月受注終了)

高分解能型(M/ΔM= >450 at 10% height)

QMH400-1:1-128amu
QMH410-3:1-340amu(2018年1月受注終了)
QMH410-2:1-16amu (2018年1月受注終了)


RFジェネレーター

■プリアンプ

エレクトロメータープリアンプまたは
イオンカウンタープリアンプより選択できます。

一般的には中性粒子測定の場合には
エレクトロメータープリアンプ、プラズマ等外部で生成された
イオンの測定時にはイオンカウンタープリアンプが用いられます。

エレクトロメータープリアンプ:EP422
アンプレンジ:10E-5A〜10E-12A
イオンカウンタープリアンプ:CP400
検出範囲:0.1〜10E+7cps

 

プリアンプ

■二次電子増倍管

標準の17段Cu-Beディスクリートダイノード゙型のSEV217および 増倍管入口にイオンを強制的に引き込むコンバージョンダイノードの付いたSEV218より選択できます。
後者のタイプは主に高質量イオン測定の場合に用いられま
す。

 

二次電子増倍管

■分析管の脱ガス処理
グリッドイオンソースの付いた分析管に限り、部品単位でベーキングを行い分析管として組み立てるオプションが選択できます。
処理前のカガス放出量が1 x 10-7 Pa m3/sec程度であるのに対して脱ガス処理後は2桁程度減少します。

■信号入出力 (オプション、IO700)

アナログ入力 入力チャンネル:8ch
モジュールタイプ:WAGO 750-459
分解能:12 bit
アナログ出力 出力チャンネル:8ch
モジュールタイプ:WAGO 750-559

出力電圧:0〜+10V
分解能:12 bit

デジタル入力 入力チャンネル:32ch
モジュールタイプ:WAGO 750-430
入力信号:0/+24V(2.8mA)
デジタル出力 入力チャンネル:32ch
モジュールタイプ:WAGO 750-530

出力信号:0/+24V
max 0.5A


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