高性能四重極質量分析計
ハイエンド型四重極質量分析装置 QMG700 HiQuad
PFEIFFER_VACUUM

Specification

最大測定質量数 ユニットレゾリューション型:M/e=1〜300, 512amu
高分解能型:128
検出器 ファラデーカップ+二次電子増倍管
最大測定圧力 ファラデーカップ:1 x 10-2Pa
二次電子増倍管:1 x 10-3Pa
最小検出分圧 1 x 10-13〜1 x 10-14Pa
マスフィルターの材質および寸法 ユニットレゾリューション型:ステンレスまたはモリブデン(8 x 200mm)
高分解能型:モリブデン(16 x 300mm)
最大測定スピード アナログスキャン:5msec〜60sec/amu
バーグラフスキャン:0.125msec 〜60sec/amu
トレンド(MID):0.125msec 〜 60sec/ch
最小検出濃度 <1ppb (測定ガス種のバックグランドにより異なります。)
分析管の最大加熱温度 動作中:150℃
エレクトロニクスを外した状態:300℃
エレクトロニクスとマグネット(オプション)を外した状態:400℃
測定チャンネル 128チャンネル
通信インターフェイス Ethernet(10/100)
取り付けフランジ ユニットレゾリューション型:DN63CF-F(ICF114)
高分解能型:DN100CF-F(ICF152)
信号入出力 オプションボード(IO700、IO720)で対応
エレクトロニクス動作温度範囲 5〜40℃
保存環境温度 -40〜+65℃
電源電圧 90〜265VAC(47〜63Hz)?300Wmax

信号入出力オプション(IO700)
アナログ入力 入力チャンネル:8ch
モジュールタイプ:WAGO 750-459
分解能:12 bit
アナログ出力 出力チャンネル:8ch
モジュールタイプ:WAGO 750-559

出力電圧:0〜+10V
分解能:12 bit

デジタル入力 入力チャンネル:32ch
モジュールタイプ:WAGO 750-430
入力信号:0/+24V(2.8mA)
デジタル出力 入力チャンネル:32ch
モジュールタイプ:WAGO 750-530

出力信号:0/+24V
max 0.5A


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