プロセスガス分析装置
スパッタープロセスモニター SPM220
PFEIFFER_VACUUM

Specification

測定質量数 M/z=1〜100,200
最大測定プロセス圧力 1Pa(標準型)
1,000Pa(二段差動排気型)
検出限界(Arスパッタ中) H2 : <3,000ppb (100amu型) 、<6,000ppb(200amu型)
H2O : <500ppb
N2,O2, CO2 : <100ppb
通信インターフェイス LAN TCP/IP DHCP/固定アドレス (Ethernet)
取り付けフランジ DN40CF-F(ICF70)
概略寸法 D390 x W160 x H390mm (突起部を除く本体部分、最小構成時)
アナログ入力 5チャンネル 0〜±10VDC
アナログ出力 4チャンネル 0〜+10VDC
デジタル入力 4チャンネル(最大) 24VDC
デジタル出力 13チャンネル 24VDC
外部トリガー入力 1チャンネル 24VDC (インターロック用)
電源電圧 単相100V/200V、50/60Hz
重量 13kg(差動排気用ターボポンプを含める)

オプション
スパッタ装置とSPM間にプロテクションバルブが挿入できます。
圧空式バルブの場合は付属のバルブコントローラを介して制御され、不意の故障によるSPM停止時にバルブが閉じられます。

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