Hakuto科学機器 取扱製品紹介

RBS Analyzer

ラザフォード後方散乱 (RBS)

RUTHERFORD BACKSCATTERING

構成元素分析と薄膜厚さ測定
感度:10 ppm (重元素)、数 % (軽元素)
化学的元素比絶対測定
深さ方向プロファイル、3μまで
標準試料不要

チャンネリング

Channeling

結晶性のある試料の場合、結晶軸に沿ってビームを入射
結晶構造
結晶軸方向
純度と欠陥の分析
不純物の位置 情報

反跳原子分析 (ERDA)

Elastic Recoil Detection Analysis

表面近傍の軽元素の量と深さ方向分布
Heイオンビームを用い、表面近傍の1Hと2Hの分析

粒子励起X線分析 (PIXE)

Particle Induced X-ray Emission

低バックグラウンド
高感度: 0.1~10 μg/g
理想的なトレーサー元素分析手法
μPIXE、μRBS
マイクロビームを用いて高い空間分解能でPIXE/RBS分析が可能

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